Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , |
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
|
| Предмети: | |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Будьте першим, хто залишить коментар!