Microsystem Technology - Menz, W. (Wiley-VCH)
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El proceso de tecnología LIGA; 8) Procesos alternativos de micro estructuras; 9) Técnicas de empaquetado e interconexión; 10) Sistema de tecnología.