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Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

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Guardado en:
Hovedforfatter: Menz, W. (autor)
Andre forfattere: Mohr, Jürgen (autor), Paul, Oliver (autor)
Format: Bog
Sprog:engelsk
Udgivet: Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Fag:
Microelectrónica (Empaquetado)
Microelectrónica - > Tema Principal
Microtecnología
Ingeniería Electrónica
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Summary:Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El proceso de tecnología LIGA; 8) Procesos alternativos de micro estructuras; 9) Técnicas de empaquetado e interconexión; 10) Sistema de tecnología.
Fysisk beskrivelse:XII, 500 p.
ISBN:3-527-29634-4

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