Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | , |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Soggetti: | |
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| Riassunto: | Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El proceso de tecnología LIGA; 8) Procesos alternativos de micro estructuras; 9) Técnicas de empaquetado e interconexión; 10) Sistema de tecnología. |
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| Descrizione fisica: | XII, 500 p. |
| ISBN: | 3-527-29634-4 |