Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
|
| Temas: | |
| Etiquetas: |
Sin etiquetas, Sé el primero en etiquetar este registro!
|
| Resumen: | Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El proceso de tecnología LIGA; 8) Procesos alternativos de micro estructuras; 9) Técnicas de empaquetado e interconexión; 10) Sistema de tecnología. |
|---|---|
| Descripción física: | XII, 500 p. |
| ISBN: | 3-527-29634-4 |