Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
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| Autor principal: | |
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| Otros autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Temas: | |
| Etiquetas: |
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| 300 | |a XII, 500 p. | ||
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| 520 | |a Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El proceso de tecnología LIGA; 8) Procesos alternativos de micro estructuras; 9) Técnicas de empaquetado e interconexión; 10) Sistema de tecnología. | ||
| 649 | |a XX | ||
| 650 | |a Microelectrónica (Empaquetado) | ||
| 650 | |a Microelectrónica - |x Tema Principal | ||
| 650 | |a Microtecnología | ||
| 650 | |a Ingeniería Electrónica | ||
| 700 | |a Mohr, Jürgen |e (autor) | ||
| 700 | |a Paul, Oliver |e (autor) | ||
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