Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
-д хадгалсан:
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Бусад зохиолчид: | , |
| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | англи |
| Хэвлэсэн: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
|
| Нөхцлүүд: | |
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
|
Ижил төстэй зүйлс: Microsystem Technology /
- Chip Scale Package, CSP : Design, Materials, Processes, and Aplications /
- Microvias : For Low Cost, High Density Interconnects /
- Vacuum Microelectronics /
- Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications /
- RF MEMS : Theory, Design, and Technology /
- Micro Electro Mechanical System Design /