Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
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| Daljnji autori: | , |
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | engleski |
| Izdano: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Teme: | |
| Oznake: |
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
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| Signatura: |
621. 381 MEN
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| Ejemplar 0500144185 |
Disponible
Préstamo 7 días a 90
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Zbirka:
Colección General
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Bilješke:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General
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