Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
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| Autor principal: | |
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| Otros autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Temas: | |
| Etiquetas: |
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| Código Dewey: |
621. 381 MEN
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| Ejemplar 0500144185 |
Disponible
Préstamo 7 días a 90
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Colección:
Colección General
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Notas:
Ubicar en Nivel 1 Área de Colección General
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