Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Menz, W. (autor)
Tác giả khác: Mohr, Jürgen (autor), Paul, Oliver (autor)
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Được phát hành: Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Chi tiết quỹ từ IT1
Số hiệu:
621. 381 MEN
Ejemplar 0500144185
Disponible
Préstamo 7 días a 90
Bộ sưu tập:
Colección General
Ghi chú:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General