Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | , |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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| Collocazione: |
621. 381 MEN
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| Ejemplar 0500144185 |
Disponible
Préstamo 7 días a 90
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Collezione:
Colección General
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Note:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General
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