Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

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Bibliographic Details

Main Author:	Menz, W. (autor)
Other Authors:	Mohr, Jürgen (autor) (autor), Paul, Oliver (autor) (autor)
Format:	Book
Language:	English
Published:	Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Subjects:	Microelectrónica (Empaquetado) Microelectrónica - > Tema Principal Microtecnología Ingeniería Electrónica
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