Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
|
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
Եղիր առաջինը, ով թողնում է մեկնաբանություն!