Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Furkejuvvon:
| Váldodahkki: | |
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| Eará dahkkit: | , |
| Materiálatiipa: | Girji |
| Giella: | eaŋgalasgiella |
| Almmustuhtton: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
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| Fáttát: | |
| Fáddágilkorat: |
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!
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Lasit vuosttaš kommeantta. Visot kommeanttat leat almmolaččat.!