Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Menz, W. (autor)
Weitere Verfasser:	Mohr, Jürgen (autor), Paul, Oliver (autor)
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Schlagworte:	Microelectrónica (Empaquetado) Microelectrónica - > Tema Principal Microtecnología Ingeniería Electrónica
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