Microsystem Technology /
Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH,
2001, c2001
|
| Temas: | |
| Etiquetas: |
Sin etiquetas, Sé el primero en etiquetar este registro!
|
Sé el primero en dejar un comentario!