Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

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Sábháilte in:
Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir: Menz, W. (autor)
Rannpháirtithe: Mohr, Jürgen (autor) (autor), Paul, Oliver (autor) (autor)
Formáid: LEABHAR
Teanga:Béarla
Foilsithe / Cruthaithe: Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Ábhair:
Clibeanna: Cuir clib leis
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Sonraí sealbhúcháin ó IT1
Gairmuimhir:
621. 381 MEN
Ejemplar 0500144185
Disponible
Préstamo 7 días a 90
Bailiúchán:
Colección General
Nótaí:
Ubicar en Nivel 1 Área de Colección General