Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

Deskribapen osoa

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Menz, W. (autor)
Beste egile batzuk: Mohr, Jürgen (autor) (autor), Paul, Oliver (autor) (autor)
Formatua: Liburua
Hizkuntza:ingelesa
Argitaratua: Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Gaiak:
Etiketak: Etiketa erantsi
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Aleari buruzko argibideak IT1
Sailkapena:
621. 381 MEN
Ejemplar 0500144185
Disponible
Préstamo 7 días a 90
Bilduma:
Colección General
Oharrak:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General