Microsystem Technology /

Contenido: 1) Introducción general a tecnología de micro estructuras; 2) Lo relacionado a la microelectrónica; 3) Fundamentos físicos y químicos de la microtecnología; 4) Tecnologías básicas en sistemas microelectromecánicos (MEMS); 5) Litografía; 6) Tecnología de microsistemas de silicio; 7) El pro...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Menz, W. (autor)
Další autoři: Mohr, Jürgen (autor) (autor), Paul, Oliver (autor) (autor)
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Weinheim, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Témata:
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Informace o exemplářích z: IT1
Signatura:
621. 381 MEN
Ejemplar 0500144185
Disponible
Préstamo 7 días a 90
Sbírka:
Colección General
Poznámky:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General