Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication : Microlithography /

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書誌詳細
第一著者: Rai-Choudhury, P. (ed.)
フォーマット: 図書
言語:英語
出版事項: Bellingham, EUA : Londres, Inglaterra : SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers, 1997, c1997
シリーズ:(IEE Materiales and Devices Series ; 12)
(SPIE Press Monograph ; PM39)
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