MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Збережено в:
| Інші автори: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
|
| Серія: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
|
| Предмети: | |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Будьте першим, хто залишить коментар!