MEMS Mechanical Sensors /

Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.

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Detalles Bibliográficos
Otros autores: Beeby, Stephen (autor) (autor)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Norwood, EUA : Artech House, 2004, c2004
Colección:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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