MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Tallennettuna:
| Muut tekijät: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
|
| Sarja: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
|
| Aiheet: | |
| Tagit: |
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Lisää ensimmäinen kommentti!