MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
محفوظ في:
| مؤلفون آخرون: | |
|---|---|
| التنسيق: | كتاب |
| اللغة: | الإنجليزية |
| منشور في: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
|
| سلاسل: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
|
| الموضوعات: | |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!