MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
I tiakina i:
| Ētahi atu kaituhi: | |
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| Hōputu: | Pukapuka |
| Reo: | Ingarihi |
| I whakaputaina: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
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| Rangatū: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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| Ngā marau: | |
| Ngā Tūtohu: |
Kāore He Tūtohu, Me noho koe te mea tuatahi ki te tūtohu i tēnei pūkete!
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Me noho koe te mea tuatahi ki te waiho tākupu!