MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Uloženo v:
| Další autoři: | |
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| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
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| Edice: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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| Témata: | |
| Tagy: |
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Podobné jednotky: MEMS Mechanical Sensors /
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