MEMS Mechanical Sensors /

Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.

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Podrobná bibliografie
Další autoři: Beeby, Stephen (autor)
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Norwood, EUA : Artech House, 2004, c2004
Edice:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
Témata:
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Podobné jednotky: MEMS Mechanical Sensors /