MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
שמור ב:
| מחברים אחרים: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | אנגלית |
| יצא לאור: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
|
| סדרה: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
|
| נושאים: | |
| תגים: |
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
היה/י הראשונ/ה לכתוב הערה!