MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Furkejuvvon:
| Eará dahkkit: | |
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| Materiálatiipa: | Girji |
| Giella: | eaŋgalasgiella |
| Almmustuhtton: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
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| Ráidu: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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| Fáttát: | |
| Fáddágilkorat: |
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!
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| Hildobáiki: |
681. 2 MEM
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|---|---|---|---|
| Ejemplar 0500123301 |
Disponible
Préstamo 7 días a 90
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Čoakkáldat:
Colección General
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Fuomášahttimat:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General
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