MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Tallennettuna:
| Muut tekijät: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
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| Sarja: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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