MEMS Mechanical Sensors /

Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.

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Detalles Bibliográficos
Otros autores: Beeby, Stephen (autor) (autor)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Norwood, EUA : Artech House, 2004, c2004
Colección:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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MARC

LEADER 00000nam^a2200000^a^4500
001 000183085
005 20250521000000.0
009 20260310102027.883
020 |a 1-58053-536-4 
037 |a Acervo ITESO - Biblioteca 
041 |a ING 
082 |a 681. 2  |b MEM 
245 0 0 |a MEMS Mechanical Sensors /  |c S. Beeby... [et al.]. 
264 4 |a Norwood, EUA :  |b Artech House,  |c 2004, c2004 
300 |a X, 269 p. 
336 |a texto  |b txt  |2 rdacontenido 
337 |a sin mediación  |b n  |2 rdamedio 
338 |a volumen  |b nc  |2 rdasoporte 
440 1 |a (Artech House Microelectromechanical Systems Series) 
520 |a Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo. 
649 |a XX 
650 |a Sensores -  |x Diseño y Construcción 
650 |a Transductores 
650 |a Sistemas Microelectromecánicos 
650 |a Microelectrónica 
650 |a Microtecnología 
650 |a Ingeniería Electrónica 
700 |a Beeby, Stephen  |e (autor) 
910 |a Fondo General 
920 |a Impresos - Libros 
930 |a Colección General 
905 |a 101 
901 |a 0500123301  |b IT1  |c ACC  |u 20250521 
902 |a https://opac.biblio.iteso.mx/vufind/Record/000183085