MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
-д хадгалсан:
| Бусад зохиолчид: | |
|---|---|
| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | англи |
| Хэвлэсэн: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
|
| Цуврал: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
|
| Нөхцлүүд: | |
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
|
Хамгийн түрүүнд сэтгэгдэл үлдээх!