Introduction to Microelectronic Fabrication /
Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Upper Saddle River, EUA :
Prentice-Hall,
2002, c2002
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| Edición: | 2a edición |
| Colección: | (Modular Series on Solid State Devices ;
5) |
| Temas: | |
| Etiquetas: |
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