Introduction to Microelectronic Fabrication /

Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...

Full beskrivning

Bibliografiska uppgifter

Huvudupphov:	Jaeger, Richard C. (autor)
Materialtyp:	Bok
Språk:	engelska
Utgiven:	Upper Saddle River, EUA : Prentice-Hall, 2002, c2002
Upplaga:	2a edición
Serie:	(Modular Series on Solid State Devices ; 5)
Ämnen:	VLSI - > Diseño y Construcción - > Tema Principal Circuitos Integrados - > Diseño y Construcción Sistemas Microelectromecánicos Microelectrónica Ingeniería Electrónica
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