Introduction to Microelectronic Fabrication - Jaeger, Richard C. ((Modular Series on Solid State Devices ;)
Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectromecánicos: MEMS.