Introduction to Microelectronic Fabrication /

Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Jaeger, Richard C. (autor)
Format: Llibre
Idioma:anglès
Publicat: Upper Saddle River, EUA : Prentice-Hall, 2002, c2002
Edició:2a edición
Col·lecció:(Modular Series on Solid State Devices ; 5)
Matèries:
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Detall dels fons de IT1
Signatura:
621. 395 JAE
Ejemplar 0500132258
Disponible
Préstamo 7 días a 90
Col·lecció:
Colección General
Notes:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General