Introduction to Microelectronic Fabrication /

Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...

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書誌詳細
第一著者: Jaeger, Richard C. (autor)
フォーマット: 図書
言語:英語
出版事項: Upper Saddle River, EUA : Prentice-Hall, 2002, c2002
版:2a edición
シリーズ:(Modular Series on Solid State Devices ; 5)
主題:
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