Introduction to Microelectronic Fabrication /
Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Upper Saddle River, EUA :
Prentice-Hall,
2002, c2002
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| 版: | 2a edición |
| シリーズ: | (Modular Series on Solid State Devices ;
5) |
| 主題: | |
| タグ: |
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