Introduction to Microelectronic Fabrication /
Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Llibre |
| Idioma: | anglès |
| Publicat: |
Upper Saddle River, EUA :
Prentice-Hall,
2002, c2002
|
| Edició: | 2a edición |
| Col·lecció: | (Modular Series on Solid State Devices ;
5) |
| Matèries: | |
| Etiquetes: |
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MARC
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| 520 | |a Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectromecánicos: MEMS. | ||
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