Introduction to Microelectronic Fabrication /

Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...

Fuld beskrivelse

Bibliografiske detaljer

Hovedforfatter:	Jaeger, Richard C. (autor)
Format:	Bog
Sprog:	engelsk
Udgivet:	Upper Saddle River, EUA : Prentice-Hall, 2002, c2002
Udgivelse:	2a edición
Serier:	(Modular Series on Solid State Devices ; 5)
Fag:	VLSI - > Diseño y Construcción - > Tema Principal Circuitos Integrados - > Diseño y Construcción Sistemas Microelectromecánicos Microelectrónica Ingeniería Electrónica
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