Introduction to Microelectronic Fabrication /
Contenido: Repaso de la fabricación microelectrónica; Litografía; Oxidación térmica del silicón; Difusión; Implantación del ión; Deposición de película; Interconexiones y contactos; Empacado y producción; Integración del proceso MOS; Integración del proceso bipolar; Procesos de sistemas microelectro...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
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| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | ingelesa |
| Argitaratua: |
Upper Saddle River, EUA :
Prentice-Hall,
2002, c2002
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| Edizioa: | 2a edición |
| Saila: | (Modular Series on Solid State Devices ;
5) |
| Gaiak: | |
| Etiketak: |
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