MEMS Mechanical Sensors /

Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.

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Bibliografiske detaljer
Andre forfattere: Beeby, Stephen (autor) (autor)
Format: Bog
Sprog:engelsk
Udgivet: Norwood, EUA : Artech House, 2004, c2004
Serier:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
Fag:
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