Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication : Microlithography /

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Rai-Choudhury, P. (ed.)
Format: Bog
Sprog:engelsk
Udgivet: Bellingham, EUA : Londres, Inglaterra : SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers, 1997, c1997
Serier:(IEE Materiales and Devices Series ; 12)
(SPIE Press Monograph ; PM39)
Fag:
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Detaljer om beholdninger fra IT1
Klassifikationsnummer:
670. RAI V. 1
Ejemplar 0500112591
Disponible
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Colección General
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Ejemplar 0500112617
Disponible
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Colección:
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