Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication : Microlithography /
Guardado en:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Bog |
| Sprog: | engelsk |
| Udgivet: |
Bellingham, EUA : Londres, Inglaterra :
SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers,
1997, c1997
|
| Serier: | (IEE Materiales and Devices Series ;
12) (SPIE Press Monograph ; PM39) |
| Fag: | |
| Tags: |
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Fysisk beskrivelse: | VIII, 768 p. |
|---|---|
| ISBN: | 0-8194-2378-5 |