APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)
Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography. SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)
Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography. Bellingham, EUA : Londres, Inglaterra: SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)
Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography. SPIE Optical Engineering ; Institution of Electrical Engineers.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.