Thin-Film Deposition : Principles and Practice /

Contenido: 1. Tecnología de las películas delgadas; 2. Cinética del gas; 3. Tecnología del vacío; 4. Evaporación; 5. Deposición; 6. Epitaxia; 7. Deposición química del vacío; 8. Vigas de energía; 9. Plasmas de descarga luminosa; 10. Análisis de la película.

Bibliografiske detaljer

Hovedforfatter:	Smith, Donald L. (autor)
Format:	Bog
Sprog:	engelsk
Udgivet:	Boston, EUA : McGraw-Hill, 1995, c1995
Fag:	Circuitos Integrados Láser Plasma (Gases Ionizados) Películas Delgadas - > Tema Principal Sedimentación - > Tema Principal Vacío - > Tecnología Fenómenos Superficiales Superficies (Física) Nanotecnología Microtecnología Fisicoquímica Ingeniería
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!