Thin-Film Deposition : Principles and Practice /

Contenido: 1. Tecnología de las películas delgadas; 2. Cinética del gas; 3. Tecnología del vacío; 4. Evaporación; 5. Deposición; 6. Epitaxia; 7. Deposición química del vacío; 8. Vigas de energía; 9. Plasmas de descarga luminosa; 10. Análisis de la película.

Dades bibliogràfiques

Autor principal:	Smith, Donald L. (autor)
Format:	Llibre
Idioma:	anglès
Publicat:	Boston, EUA : McGraw-Hill, 1995, c1995
Matèries:	Circuitos Integrados Láser Plasma (Gases Ionizados) Películas Delgadas - > Tema Principal Sedimentación - > Tema Principal Vacío - > Tecnología Fenómenos Superficiales Superficies (Física) Nanotecnología Microtecnología Fisicoquímica Ingeniería
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