Thin-Film Deposition : Principles and Practice - Smith, Donald L. (McGraw-Hill)
Contenido: 1. Tecnología de las películas delgadas; 2. Cinética del gas; 3. Tecnología del vacío; 4. Evaporación; 5. Deposición; 6. Epitaxia; 7. Deposición química del vacío; 8. Vigas de energía; 9. Plasmas de descarga luminosa; 10. Análisis de la película.