MEMS : Applications /

Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...

Popoln opis

Bibliografske podrobnosti

Glavni avtor:	Gad-el-Hak, Mohamed (ed.)
Format:	Knjiga
Jezik:	angleščina
Izdano:	Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis : CRC Press, 2006, c2006
Izdaja:	2a edición
Serija:	(Mechanical Engineering Series CRC)
Teme:	Sistemas Microelectromecánicos - > Tema Principal Sensores Robots Control Hidráulico Actuadores (Electrónica) Microtecnología Control Automático - > Equipo y Aparatos Ingeniería
Oznake:	Označite Brez oznak, prvi označite!