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MEMS : Applications /

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Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...

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Autor principal: Gad-el-Hak, Mohamed (ed.)
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis : CRC Press, 2006, c2006
Edição:2a edición
Colecção:(Mechanical Engineering Series CRC)
Assuntos:
Sistemas Microelectromecánicos - > Tema Principal
Sensores
Robots
Control Hidráulico
Actuadores (Electrónica)
Microtecnología
Control Automático - > Equipo y Aparatos
Ingeniería
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Resumo:Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microescala; Dispositivos electrocinéticos no lineales; Generadores de micro-goteo; Micro bombas de calor y micro esparcidores de calor; Disipadores de calor de micro canal; Control de flujo; Control reactivo para reducción de la fricción de la película; Hacia un control autónomo de MEMS de flujo libre de esfuerzo cortante.
Descrição Física:1 v. (varias paginaciones)
ISBN:0-8493-9139-3

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