MEMS : Applications /

Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...

Volledige beschrijving

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Gad-el-Hak, Mohamed (ed.)
Formaat: Boek
Taal:Engels
Gepubliceerd in: Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis : CRC Press, 2006, c2006
Editie:2a edición
Reeks:(Mechanical Engineering Series CRC)
Onderwerpen:
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