MEMS : Applications /
Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
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| Fformat: | Llyfr |
| Iaith: | Saesneg |
| Cyhoeddwyd: |
Boca Ratón, EUA :
Taylor and Francis : CRC Press,
2006, c2006
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| Rhifyn: | 2a edición |
| Cyfres: | (Mechanical Engineering Series CRC)
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| Pynciau: | |
| Tagiau: |
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