MEMS : Applications /
Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Boca Ratón, EUA :
Taylor and Francis : CRC Press,
2006, c2006
|
| Редактирование: | 2a edición |
| Серии: | (Mechanical Engineering Series CRC)
|
| Предметы: | |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Ваш комментарий будет первым!