MEMS Mechanical Sensors /
Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo.
Enregistré dans:
| Autres auteurs: | |
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| Format: | Livre |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Norwood, EUA :
Artech House,
2004, c2004
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| Collection: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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| Sujets: | |
| Tags: |
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| Cote: |
681. 2 MEM
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| Ejemplar 0500123301 |
Disponible
Préstamo 7 días a 90
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Collection:
Colección General
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Notes:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General
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