Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology /

Contenido: 1) Introducción a los dispositivos semiconductores; 2) Repaso de interconexiones: cobre e integraciones K-baja; 3) Materiales de silicio; 4) SOI materiales y dispositivos; 5) Preparación de la superficie; 6) CO2 supercrítico para la limpieza de semiconductores; 7) Implantación de ión; 8)...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Doering, Robert (ed.)
Altres autors: Nishi, Yoshio (edición) (edición)
Format: Llibre
Idioma:anglès
Publicat: Boca Ratón, EUA : CRC Press, 2008, c2008
Edició:2a edición
Matèries:
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Detall dels fons de IT1
Signatura:
621. 38152 DOE
Ejemplar 0500165961
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Col·lecció:
Colección General
Notes:
Ubicar en Nivel 2 Norte Área de Colección General