Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology /

Contenido: 1) Introducción a los dispositivos semiconductores; 2) Repaso de interconexiones: cobre e integraciones K-baja; 3) Materiales de silicio; 4) SOI materiales y dispositivos; 5) Preparación de la superficie; 6) CO2 supercrítico para la limpieza de semiconductores; 7) Implantación de ión; 8)...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos

Autor principal:	Doering, Robert (ed.)
Otros autores:	Nishi, Yoshio (edición) (edición)
Formato:	Libro
Idioma:	Inglés
Publicado:	Boca Ratón, EUA : CRC Press, 2008, c2008
Edición:	2a edición
Temas:	Semiconductores - > Tema Principal Semiconductores - > Industria y Comercio - > Tema Principal Industria Electrónica Ingeniería Electrónica
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