Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology - Doering, Robert (CRC Press)
Contenido: 1) Introducción a los dispositivos semiconductores; 2) Repaso de interconexiones: cobre e integraciones K-baja; 3) Materiales de silicio; 4) SOI materiales y dispositivos; 5) Preparación de la superficie; 6) CO2 supercrítico para la limpieza de semiconductores; 7) Implantación de ión; 8) Difusión de impurificador; 9) Oxidación y puerta de dieléctricos; 10) Siliciuros; 11) Procesado térmico rápido; 12) Dieléctricos K; 13) Deposición química del vapor; 14) Deposición de la capa atómica; 15) Deposición física de vapor; 16) Galvanoplastia de cobre técnica damasceno; 17) Pulido químico-mecánico; 18) Litografía óptica; 19) Materiales fotoresistentes y procesamiento; 20) Fabricación de fotomask; 21) Plasma etch; 22) Confiabilidad de los equipos; 23) Descripción del control de procesos; 24) Metrología en línea; 25) Metrología in situ; 26) Rendimiento del modelado; 27) Rendimiento de gestión; 28) Caracterización eléctrica, física, y química; 29) Análisis de fallas; 30) Confiabilidad física e ingeniería; 31) Efectos de la radiación terrestre en los circuitos integrados; 32) Circuito integrado empaquetado; 33) Fabricación de la oblea de 300 mm., logística y sistemas automatizados de manejo de materiales; 34) Hechura del modelado; 35) Economía de fabricación de semiconductores.