Micro Electro Mechanical System Design /

Contenido: Introducción; Proceso de fabricación; Tecnologías de los MEMS (sistemas microelectromecánicos); Temas en ascenso sobre MEMS; Diseño de herramientas de realización para MEMS; Electromecánica; Modelado y diseño; Sensores y acuadores MEMS; Empaque; Confiabilidad.

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Allen, James J. (autor)
Natura: Libro
Lingua:inglese
Pubblicazione: Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis, 2005, c2005
Serie:(Mechanical Engineering ; 192)
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